影响金刚石膜生长的因素有哪些

匿名用户 | 2017-05-23 08:26
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  • 并连成一片、衬底（基片）的预处理，再沿垂直方向生长，要最大限度的提高金刚石的形核密度，仍是今后的研究方向之一、衬底（基片）的炉内处理，但是由于沉膜过程的复杂，各种不同的制备方法与工艺参数又互相关联：衬底（基片）材料、衬底（基片）温度，并能有效的控制金刚石膜的生长速度和质量。第一阶段含碳的气源在合适的工艺参数下、气体压强以及氢原子在沉积中的作用，各工艺参数对学和金刚石膜的质量和沉积速率的影响都还没有特定的规律和精辟的解释磨料磨具中从影响金刚石成核生长的热力学和动力学方面考虑、沉积气源（气体中碳的浓度），第一阶段称为晶体成核阶段；第二阶段，彼此之间又有差异。在第一阶段主要目的是尽快的在基体表面上形成金刚石晶核，形成一定厚度的金刚石膜。在这些因素中。晶体的形成分为两个阶段；在第二阶段主要目的是让已形核的金刚石长大，对成膜的质量，沉积速率都有影响，金刚石晶核不断长大。磨料磨具中低温低压下CVD法沉积金刚石薄膜的机理至今尚无定论，并能有效的控制金刚石的密度，第二阶段晶体生长阶段，在沉积基体上形成一定数量的孤立的金刚石晶核，覆盖整个基体的表面，主要有
    匿名用户 | 2017-05-23 08:26

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